真空获得
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 进气口法兰
- KF40&KF25
- 排气口法兰（ISO-KF）
- KF25
- 抽速速率（L/s）
- N2：700 He：580 H2：260 Ar：680
- 压缩比
- N2：1E9 He：1E7 H2：1E6 Ar：1E9
- 极限压强（Pa）
- 5E-5Pa
- 建议启动压强（Pa）
- <10Pa
- 前级泵型号
- RV6（ default ）
- 冷却方式
- 水冷/风冷
- 冷却水流量（L/min）
- >1
- 冷却水温度（℃）
- ≤25
- 输入电压频率（V/Hz）
- 380±20/50
- 环境温度（℃）
- 水冷方式 5℃-40℃ 风冷方式 5℃-32℃
- 安装方式
- 垂直
- 适配电源型号
- TCDP-II
- 外形尺寸L*W*H（mm）（高=地面-过渡腔电离规处）
- 550×690×850(水冷) 550x690x915（风冷）
- 重量（kg）
- 135
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |